臭氧是氧气的一种同素异形体，是有鱼腥气味的淡蓝色气体。低浓度的臭氧可以消毒，而高浓度的臭氧会对人体造成极大的危害。当臭氧浓度过高时，会引起咳嗽、呼吸困难及肺功能下降。长时间直接接触高浓度臭氧的人出现疲乏、咳嗽、胸闷胸痛、皮肤起皱、恶心头痛、脉搏加速、记忆力衰退、视力下降等症状。
臭氧也会使植物叶子变黄甚至枯萎，对植物造成损害，甚至造成农林植物的减产、经济效益下降等。臭氧能够较快地与室内的建筑材料、居家用品、丝、棉花等制品中所含的有机化合物发生反应，从而造成染料褪色、照片图像层脱色、轮胎老化等。
但是臭氧应用于烟气净化领域具有广阔的前景：(1)臭氧是一种清洁氧化剂，不会产生二次污染物；(2)它能够在良好的脱硫脱硝的基础上，同时实现对汞的高效去除；(3)臭氧对烟气中氯化物、氟化物、VOCS以及二噁英也有一定的去除能力，它对多种污染物的协同脱除能力是应用到实际过程中最有利的优点。
尽管臭氧法是烟气净化领域高效的污染控制方法，但现阶段臭氧的制备成本较高，应用技术不够成熟，限制了该技术的广泛推广使用，因此，高效、节能、环保的臭氧发生装置仍是臭氧法运用的关键。
