安装一段透明管道，在水平与垂直管道的转弯处。 由此来直接观测。
制程排气系统是指铁（氟）弗龙风管排气系统风管工程中，由制程机台至主管支管（Sub-main）间之连接风管，统称二次配排气风管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是将制程机台所产生之各种废气（例如酸碱性废气、挥发性有机废气、一般性废气等等）经由二次配排气风管排至排气支管、主风管等再导入废气处理设备处理，处理后废气再排放至大气中的整个排气系统过程。
半导体产业在制造过程中，无可避免地必须使用不同种类的化学物质，为了提高产品的良率，必须精密控制产品所接触环境的空气质量。而制程排气系统（Exhaust System），虽非制程生产所需设备，但却是为生产区域营造一个可供生产人员在安全情况下的工作环境。
因此制程排气系统，从废气物质兼容性至排放气体输送，以至于各种污染处理设备，皆需经严格且缜密选择，这些均是环环相扣缺一不可。
