1、第一，一般情况下，超纯水设备在进行处理时，都会进行原水的选用，普遍情况下，超纯水设备可以选用自来水、普通的蒸馏水、也可能是将去离子水作为超纯水的预用原水。
2、第二，就是超纯水设备要对原水进行机械过滤，这主要是利用超纯水设备的砂芯滤板和纤维柱滤除原水当中的铁锈以及其他的悬浮物。
3、第三，就需要活性炭的过滤， 活性炭含有大量微孔，具有巨大无比的表面积，能有效地去除色度、臭味，可去除二级出水中大多数有机污染物和某些无机物，包含某些有毒的重金属，这在一定程度上不仅保证了水质的安全，还延长了超纯水设备离子交换柱的使用寿命。
4、第四，在利用短波紫外线照射对原水中未被活性炭吸附的菌体进行分解。
5、第五，最后利用离子交换单元去除水中离子，因为混合离子交床是去除水中离子的决定性手段。
